流量控制器 美國(guó)omega流量傳感器

經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)適用于潔凈氣體， FMA3100系列
經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)適用于潔凈氣體， FMA3100系列:經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)適用于潔凈氣體
可測(cè)量zui大流速為10 SLM
0 ~ 5 Vdc線性輸出
具成本效益
FMA3100系列質(zhì)量流量傳感器代表著質(zhì)量流量傳感器技術(shù)領(lǐng)域的突破。

*的電子器件、緊湊的機(jī)械設(shè)計(jì)以及批量生產(chǎn)加工理念在這一高性能、低成本的產(chǎn)品中集中體現(xiàn)。

氣體流量傳感器適合多種OEM應(yīng)用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)。

FMA3200質(zhì)量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100熱式質(zhì)量流量傳感器提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制。

在斷電模式下，流量控制閥關(guān)閉，同時(shí)泄漏率zui低。

種具成本效益的控制器是眾多OEM應(yīng)用的理想之選，它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。

FMA3300在FMA3100流量計(jì)功能的基礎(chǔ)上增加了一個(gè)可調(diào)節(jié)3位半數(shù)字LCD數(shù)字顯示儀表，用于查看以工程單位（即mL/min或L/min）顯示的流量。

已經(jīng)證實(shí)，這些緊湊型流量計(jì)在很多實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中*。
規(guī)格:
輸出： 0 ~ 5 Vdc（zui小值2500 ?）
輸入設(shè)定電壓
（僅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc
精度： 滿量程的±1.5%*
重復(fù)性： 滿量程的±0.5%
響應(yīng)時(shí)間： 在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規(guī)）達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
工作環(huán)境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無(wú)冷凝空氣
工作壓力范圍： 25°C (77°F)時(shí)達(dá)到zui大值150 psi
溫度系數(shù)： 每°C為±0.2%
壓力系數(shù)： 每psi為±0.02%
泄漏完整性： 對(duì)于外界環(huán)境，zui大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源：
FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)
FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)
連接口： 流速達(dá)到1 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭；流速達(dá)到5 L/min時(shí)，采用?" 壓合接頭；流速達(dá)到10 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭
接液材質(zhì)： 陽(yáng)極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹(shù)脂、乙縮醛壓合管接頭（標(biāo)配）
量程比： 10:1
氣體： 大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮?dú)狻⒍趸肌鍤狻錃狻⒑狻⒓淄椤⒀鯕猓?BR>過(guò)濾：如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì)，需要使用20微米過(guò)濾器
規(guī)格（FMA3200流量控制器）
壓差： 15 ~ 40 psi
閥門(mén)工作壽命： >1百萬(wàn)次循環(huán)；閥門(mén)處于常閉狀態(tài)
閥門(mén)處的泄漏率： 0.2 SCCM或低于滿量程的2%，以較大值為準(zhǔn)
控制量程： 50:1
遠(yuǎn)程設(shè)定電壓： 0 ~ 5 Vdc
重量：
FMA3100： 199 g (0.44 lb)
FMA3300： 249 g (0.55 lb)
FMA3200： 386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸（近似值）：
FMA3100： 47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300： 47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200： 81（長(zhǎng)）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

產(chǎn)品型號(hào)/產(chǎn)品描述
不帶顯示屏的型號(hào)
FMA3101 0至20 SCCM
FMA3102 0至50 SCCM
FMA3103 0至100 SCCM
FMA3104 0至200 SCCM
FMA3105 0至500 SCCM
FMA3106 0至1000 SCCM
FMA3107 0至2000 SCCM
FMA3108 0至5000 SCCM
FMA3109  0至SCCM
帶顯示屏的型號(hào)
FMA3301 0至20 SCCM
FMA3302 0至50 SCCM
FMA3303 0至100 SCCM
FMA3304 0至200 SCCM
FMA3305 0至500 SCCM
FMA3306 0至1000 SCCM
FMA3307 0至2000 SCCM
FMA3308 0至5000 SCCM
FMA3309 0至10000SCCM
控制器
FMA3202-(*) 0至50 SCCM
FMA3203-(*) 0至100 SCCM
FMA3204-(*) 0至500 SCCM
FMA3205-(*) 0至5000 SCCM
FMA3206-(*) 0至10000SCCM
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FMA3000C 帶插接式接頭和祼露端頭的1 m (3')電纜，與具有端子連接口的電源配合使用

注釋: * 氣體、入口／出口壓力和溫度。
** 流量范圍以干燥空氣或氮?dú)鉃榛鶞?zhǔn)；還提供 其它氣體（二氧化碳、氦氣、氬氣、氫氣、甲烷、氧氣）的范圍（需付額外費(fèi)用）。
? 如需可選4測(cè)量點(diǎn)NIST校準(zhǔn)證書(shū)，請(qǐng)將后綴"-NISTAIR"添加到型號(hào)中（需付額外費(fèi)用）。

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